LIP敞開(kāi)式直線光柵的特點(diǎn)是非常小的測(cè)量具有很高的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。他們根據(jù)干涉掃描原理和特點(diǎn)一DIADUR相位光柵作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。

高達(dá)±0.001微米的

到3040毫米

暴露的線性編碼器的LIF在玻璃基板上制造在SUPRADUR過(guò)程中，有一個(gè)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)，干涉掃描原理。它們的特點(diǎn)是精度高，重復(fù)性好，特別是易于安裝，限位開(kāi)關(guān)和歸巢的軌道。特別版LIF 481 V可用于在高真空到10-7酒吧（請(qǐng)參閱單獨(dú)的產(chǎn)品信息表）。

±0.04微米

到1020毫米

LIDA系列直線編碼器是專門設(shè)計(jì)的高移動(dòng)速度可達(dá)10米/秒，是特別容易安裝的各種安裝方式。鋼規(guī)模磁帶，玻璃或玻璃陶瓷METALLUR刻度作為載體使用，這取決于各自的編碼器上。他們還配備了限位開(kāi)關(guān)。

高達(dá)±0.2微米

30040毫米

在的PP兩坐標(biāo)編碼器，與DIADUR過(guò)程制造的平面的相位光柵結(jié)構(gòu)作為測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)被掃描interferentially。這使得可以測(cè)量平面內(nèi)的位置。

±0.04微米

測(cè)量范圍68x68mm